Использование собственной системы нагрева и метода контроля температуры повышает равномерность нагрева перовскитных материалов при кристаллизации, обеспечивая согласованность быстрого отжига и кристаллизации перовскитных материалов.
Используется для процесса отжига и кристаллизации после образования пленки. Оборудование состоит из загрузочно-разгрузочной транспортной секции, манипулятора для подачи и съема материала, печного корпуса, зоны предварительного нагрева, зоны высокой температуры, зоны охлаждения, устройства для подачи и съема пластин, системы впуска и выпуска воздуха, трансмиссионных компонентов, электронной системы управления и т.д. Время нагрева и охлаждения каждой пластины регулируется независимо.
Чистота внутри печи может достигать сотни классов, внутри печи используются модульные манипуляторы X, Y, Z для транспортировки, а ролики для передачи изготовлены из UPE антистатического материала, что не повреждает нижнюю поверхность продукции.
Оснащен системой интеллектуального управления, обеспечивает высокую точность температурного контроля, быстрое и точное действие, контролируемую скорость нагрева, равномерную температуру поверхности подложки и полное испарение растворителя.
| серия | Обработка спецификаций продукта | направление подачи | максимальная температура | цикл производства отжига | контролируемая зона | атмосфера |
| HXL | 300×300mm-2400×1600mm | длинная сторона подачи | 200℃ | ≥30 секунд/PCS | зона предварительного нагрева, зона высокой температуры, зона охлаждения | Air/вакуум |
