Процесс обезвоживания и спекания керамических материалов, таких как электростатические патроны, HTCC-подложки, корпуса трубок, SMD и т.д., в атмосфере азота + водорода (сухая/влажная), а также эксперименты с новыми технологиями
1. Температура и точка росы внутри трубы контролируются, переключение сухого и влажного газовых путей осуществляется, система состоит из рамы управления газовыми путями, увлажнительной камеры и различных теплоизолированных газовых трубопроводов, а на выходном отверстии предусмотрены устройство для улавливания масла и установка для обработки выхлопных газов.
2. Каждый канал подачи воздуха оснащен системой с резервированием, что эффективно обеспечивает качество атмосферы для работы оборудования.
3. Увлажнительный бокс подразделяется на имитационный, основной и предварительный увлажнительные боксы, с помощью импортного измерителя точки росы точно контролирует точку росы каждого входящего потока воздуха с точностью до ±1℃.
4. Топка выполнена из тяжелого корунд-муллитового кирпича в виде перевернутой буквы «V», внутри топки вольфрамовые проволоки подвешены по периметру для точного контроля температуры.
| серия | объем топки | максимальная температура | содержание кислорода | Обнаружение давления | нагревательный элемент | атмосфера |
| HXL | 250L | 1700℃ | 10ppm | давление в печи | молибденовая проволока | H2+N2（Соотношение сухого/влажного газа регулируется） |
