После нанесения перовскитного раствора быстро откачивается воздух, испаряется часть растворителя для быстрого формирования пленки, затем процесс отжига дополнительно оптимизирует кристаллизацию.
Перовскитный светодиодный плавильный аппарат представляет собой процесс частичного мгновенного испарения жидкости под высоким давлением и высокой температурой при резком снижении давления, когда температура превышает температуру кипения при новом давлении. Этот процесс использует свойство температуры кипения вещества, уменьшающееся с давлением: жидкость быстро испаряется при попадании в низкое давление, поглощая скрытую теплоту парообразования, а после снижения давления испарение достигает эффекта быстрого вакуумирования после покрытия.
| серия | размер подложки | Толщина подложки | скорость откачки | Длина температурной зоны | температура платформы субстрата | атмосфера |
| HVT | 2400mm×1200mm | 1.6-3.2mm | За 10 секунд до 10 Па | 3000mm | 20-150℃ | Air/вакуум |

